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更高產(chǎn)能可達(dá)到8000pcs/h
可根據(jù)客戶需求選配在線隱裂檢測
特制精密陶瓷吸盤,減少硅片劃傷
技術(shù)參數(shù)
技術(shù)參數(shù)
相關(guān)參數(shù)
產(chǎn)能
4000/6500/8000 pcs/h
硅片列數(shù)
5/8/10
硅片尺寸
166mm-210mm
適用花籃
100 cassette
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≤0.03%
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≥98%
耗氣量
200L/min
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